| 測量方式 |
定義 |
|---|---|
| 熱偶真空計 | 利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關(guān)的原理來(lái)測量真空度的真空計。 |
| 電離真空計 | 由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來(lái)測量氣體壓強的真空計。 |
| 復合真空計 | 由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。 |
| 冷陰極電離計 | 陽(yáng)極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽(yáng)極筒內形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來(lái)測定氣體壓強的真空計。 |
| 電阻真空計 | 利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導有關(guān)的原理，通過(guò)電橋電路來(lái)測量真空度的真空計。 |
| 麥克勞真空計 | 也成為壓縮式真空計，將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開(kāi)管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。 |
| 電容薄膜真空計 | 這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線(xiàn)影響，延伸測量下限，可測超高真空。電容薄膜真空計將三種不同的規管綜合在個(gè)小型經(jīng)濟的規管中，測量過(guò)程壓強和基本壓強從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計由于具有測量精度高、動(dòng)態(tài)響應快、測量結果與氣體成分無(wú)關(guān)以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點(diǎn)，因而越來(lái)越受到人們的重視。以它取代水銀壓力計、油壓計、電阻真空計、熱偶真空計以至部分地取代電離計。 |
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